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In-line 蒸鍍設備

應用場景:應用于汽車尾燈、照明等PMOLED面板、WOLED面板、光伏鈣鈦礦電池量產


產品應用

                                                                                                                                     


– 各種基板尺寸

– Inline Type

– 標準化

– 模塊化

– 成膜均勻性高

– 運營穩定



技術優勢

                                                                                                                                     


– 定制化產品,可配置點源或線源

– 具備Auto PID,蒸鍍穩定,成膜均勻

– 產品成熟,運行穩定(MTFR≥720小時)



產品參數
In-line 蒸鍍設備 規格參數
基板 Up to G8.5
生產節拍 60秒 (區分鍍層)
生產時間 ≥144小時
膜厚均勻性:有機材料 ≤2% (片內);≤2%(片間)
膜厚均勻性:金屬材料 ≤3% (片內);≤2%(片間)
速率穩定性(0.01?/s- 3?/s)有機材料 Host:≤±2%,@1.0?/s
速率穩定性(0.01?/s- 3?/s)Dopant ≤±3%,@0.01?/s
速率穩定性(0.01?/s- 3?/s)金屬材料 ≤±2%,@1.0?/s;≤±3%,@0.01?/s
對位 ≤±50μm(機械對位)
系統控制 控制系統PLC,PC (GUI S/W)
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