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蒸發源


產品應用

                                                                                                                                     


– 標準化

– 模塊化

– 成膜均勻性高

– 材料利用率高

– 穩定運營時間長


技術優勢

                                                                                                                                     


– 高精密溫度控制技術

– 長時間運營穩定性

– 真空熱系統蒸鍍模擬技術


產品參數
蒸發源 項目 規格參數
線源:運行時間 ≥250小時
線源:膜厚均勻性 有機材料:Host:≤1.5%;Dopant:≤2%
線源:膜厚穩定性 ≤1.5%
線源:再現性 ≤1.5%
線源:速率穩定性 有機材料:Host:≤±1%;Dopant:≤±2%
線源:溫度控制 ≤0.2%或0.3℃
線源:Clogging No Clogging
點源:溫度控制 R.T~1500攝氏度,≤±1℃
點源:膜厚穩定性:≤3%
點源:再現性 ≤3%
點源:速率穩定性 ≤3%
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