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半導體自動物料搬送系統AMHS


產品特點

                                                                                                                                     


– SEMI Standard Compliance

– 走行速度Max 320m/min

– 振動≤0.5G

– MTBF≥2000HR

– Up Time≥99.99%


核心技術

                                                                                                                                     


– 獨有的路徑探索算法專利

– 搭建Digital Twin平臺,OCS虛擬映像技術

– Log可視化技術

– 軌道匯合點雙重防撞技術






產品參數
半導體自動物料搬送系統AMHS 規格參數
型號 SVA-OHT01 (FOUP OHT)
載重 Max 15 kg
走行速度:直行速度 Max 320m/min
走行速度:彎軌速度 70m/min
走行速度:防火安全門 200m/min
走行速度:Acc / Dec 1.96m/s2 / 2.94m/s2
伸出速度 40m/min
伸出距離 960mm(-480mm ~ +480mm)
升降速度 80m/min
升降距離 3000mm
可調角度 ±10?
軌道半徑 500mm
走行停止精度 ±0.5mm
振動 ≤0.5G
分支/匯合方式 VHL self switching
規格尺寸 478.5(w)*896(D)*905(H)
重量 115kg(含FOUP)
供電方式 CPS 方式
供電方式 1次電源:20KW
供電方式 2次電源:2Kw
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