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硅片視覺檢查AVIS


產品特點

                                                                                                                                     


– 功能可選模塊化設計

– 緊湊型封口

– 高潔凈度、高可靠性、高精度

– 提供系統定制

– 傳輸振動抑制控制

– 視覺檢測運動控制


核心技術

                                                                                                                                     


– 通信接口適配技術

– Dual-Arm控制技術

– 晶圓Mapping技術

– 晶圓360°旋轉控制

– 晶圓表面光源檢測

– 簡易化運維管理平臺







產品參數
硅片視覺檢查AVIS 規格參數
晶圓尺寸 300mm
尺寸(mm) 3436(W)*1850(D)*2180(H)
節拍時間 Min. 90 WPH ( Wafer inspection time : 15 sec. / per side)
系統結構 Transfer Robot , Inspection Robot , Flip Unit , LPM , Open Cassette , FFU , Halogen、Lamp , lonizer , etc
搬運機器人&檢測機器人重復定位精度 Within ± 0.1mm
搬運機器人活動范圍 伸展:1215mm, Rotation: 330 deg, Up/Down: 480mm
檢測機器人活動范圍 X , Y , Z Axis : 300mm , Yaw Axis : -90~90 deg , Tilt : -50~80deg,Wafer rotation :360 deg(CW , CCW)
碘鉤燈 YP-250I/YAMADA KOKAKU
潔凈等級 Class 1 , ULPA Filter
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