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潔凈搬運機器人


產品特點

                                                                                                                                     


– 模塊化設計

– 標準化接口

– 輕量化設計

– 高潔凈度密封設計

– 高速、高精度、潔凈搬運

– 多枚基板同時處理,節省Tact Time


核心技術

                                                                                                                                     


– 大型基板搬運振動抑制

– 高潔凈度密封、凈化設計

– 基于位置反饋的變加速控制

– 故障診斷與預測

– 高精度精密加工、組裝工藝與檢測




產品參數
機器人型號 svv-143系列 svv-184系列 svv-9L2系列 svv-9H5系列 svv-581系列
機器人類型 圓柱型 支撐梁型 支撐梁型 支撐梁型 支撐梁型
可搬運基板:基板世代 4.5G及以下 5.5G 6G 8.5G 10.5G
可搬運基板:基板尺寸 370x470~730x920 mm 1300x1500 mm 1500x1850 mm 2200x2500 mm 2940x3370 mm
可搬運基板:基板厚度 0.4~1.4 mm 0.4~1.4 mm 0.4~1.4 mm 0.4~1.4 mm 0.4~1.4 mm
運動范圍:水平移動 0~10200 mm 0~11150 mm 0~11700 mm 0~15700 mm 0~18600 mm
運動范圍:垂直升降 0~1000 mm 0~2400 mm 0-4300 mm 0~4700 mm 0~6200 mm
運動范圍:手臂伸縮 -815~930 mm -1615~1600 mm -1700~1680 mm -2300~2300 mm -2925~2875 mm
運動范圍:回轉角度 0°~370° 0°~370° 0°~370° 0°~370° 0°~370°
最大速度:水平移動軸 2300 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2300 mm/s
最大速度:垂直升降軸 800 mm/s 900 mm/s 1000 mm/s 1200 mm/s 1300 mm/s
最大速度:手臂伸縮軸 2500 mm/s 3150 mm/s 3800 mm/s 4600 mm/s 5000 mm/s
最大速度:回轉軸 157°/s 90°/s 90°/s 60°/s 90°/s
主要性能:重復定位精度 ±0.2 mm ±0.2 mm ±0.2 mm ±0.25 mm ±0.25 mm
主要性能:最大載重(含執行未端) 15 kg 50 kg 50 kg 65 kg 150 kg
主要性能:執行未端耐熱溫度 常溫~450 ℃ 常溫~450 ℃ 常溫~450 ℃ 常溫~450℃ 常溫~450 ℃
主要性能:潔凈度 Class 10(0.3 um) Class 10(0.3 um) Class 10 (0.3 um) Class 10(0.3 um) Class 10 (0.3 pum)
主要性能:運行噪音 ≤80 dB ≤85 dB ≤85 dB ≤85 dB ≤85 dB
運行環境:溫度 0~40 ℃ 0~40 ℃ 0~40℃ 0~40 ℃ 0~40 ℃
運行環境:濕度 30~90% RH 30~90% RH 30~90% RH 30~90% RH 30~90%RH
電源規格(三相) AC200~230V±10% AC200~230V±10% AC200~230V±10% AC200~230V±10% AC200~230V±10%
真空源規格 -70 kPa -70 kPa -70 kPa -70 kPa -70 kPa
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